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日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導(dǎo)體設(shè)備 M-351PG 該型號使用Ni絲來提高耐腐蝕性，并與RIE和CVD等硬工藝設(shè)備兼容。

日本Anelva離子計熱陰極電離真空計測量壓力 M-311HG 這是傳感器真空計系列的離子計。離子計（熱陰極電離真空計）具有優(yōu)異的重復(fù)性和線性度，可以在較寬的范圍內(nèi)測量壓力，使其成為優(yōu)秀的真空計。該傳感器采用經(jīng)過驗證的微型儀表（MG-2I 型）。

日本Anelva水晶離子計真空計測量大氣壓范圍 M-336MX 這是一種組合真空計，使用了在低真空范圍內(nèi)具有出色的再現(xiàn)性和響應(yīng)性的晶體真空計和在高真空范圍內(nèi)具有長期記錄的微型 BA 真空計。這個單一設(shè)備可以測量從大氣壓到超高真空的廣泛壓力范圍。

日本Anelva寬量程電離真空計控制電源測壓力 M-431HG M-431HG是一款微型真空計專用真空計控制電源。

日本Anelva寬量程電離真空計高精度真空測量 M-833HG M-833HG 是微型 BA 儀表專用的控制單元。作為選件，還提供支持各種儀表、數(shù)據(jù)輸出等的擴展板。通過組合微型 BA 真空計和 TC 真空計（可選）并安裝自動切換真空計的自動燈絲，可以實現(xiàn)從大氣壓到超高真空的高精度真空測量。非常適合安裝高真空至超高真空設(shè)備。

日本Anelva電離真空計高精度測量可遠程控制 M-723HG/M-823HG/M-923HG 這是受歡迎的BA型電離真空計系列，配備了多種擴展板，支持多種真空計。 標準配備了真空設(shè)備過程控制所需的遠程控制功能和范圍保持功能。還備有可通過 CC-Link 進行通信控制的類型。 M-823HG 高精度涵蓋從大氣壓到高真空的所有壓力。

日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG 電容式壓力計“M-342DG”在壓力傳感器部分采用了小型硅MEMS芯片，最大限度地減少了溫度、振動和大氣壓力波動等外部環(huán)境的影響，并實現(xiàn)了高精度和穩(wěn)定的隔膜真空壓力測量。達到調(diào)零最小頻率的儀表。

日本Anelva冷陰極皮拉尼真空計高精度測量 M-361CP 這是一種組合真空計，結(jié)合了測量大氣壓至中真空的皮拉尼真空計和測量高真空至超高真空的冷陰極真空計。單個裝置可以測量較寬的壓力范圍。 一臺設(shè)備有兩種用途，有助于降低系統(tǒng)成本和管理負擔。