熱門搜索:日本物性測試儀、石川擂潰機、水泥水分計、脫氣消泡罐、粉體硬度計、日本食感試驗機






日本NAS技研半導體晶圓金屬污染物回收裝置可一次性回收硅晶圓表面及側面附著的微量金屬污染物。回收夾具具備自清洗功能,可將人為污染風險降至低,并保持分析精度一致。同樣適用于化合物半導體晶圓。
產品型號:SC系列
廠商性質:經銷商
更新時間:2025-11-11
訪 問 量:22
立即咨詢
聯系電話:13823182047
日本NAS技研半導體晶圓金屬污染物回收裝置
日本NAS技研半導體晶圓金屬污染物回收裝置
| 裝置名 | SC-3100 | SC-8150 | SC-9100 | SC-9200 | |||||
| 操作 | 電腦(※3) | ||||||||
| 對應晶圓尺寸 | 150、200、300毫米 | ||||||||
| 保持具的佩戴/卸下 | 自動 | 手動 | 自動 | 自動 | |||||
| 采樣用藥液的供給 | 自動 | 手動 | 自動 | 自動 | |||||
| 采樣用藥液的回收 | 自動(※1) | 手動 | 自動 | 自動 | |||||
| 基本回收模式 | 環形、扇形、固定、半徑、圓弧 | ||||||||
| 追加回收模式(※1) | 側面、矩形、弓形 | ||||||||
| 奧爾弗拉處理(※2) | 環形、固定半徑、附加側面回收模式 | ||||||||