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日本NAS技研硅晶圓表面金屬污染回收裝置一次性回收硅晶圓表面及側面附著的微量金屬污染物。回收夾具具備自清洗功能,可將人為污染風險降至低,并保持分析精度一致。同樣適用于化合物半導體晶圓。
產品型號:SC-9100
廠商性質:經銷商
更新時間:2025-11-11
訪 問 量:26
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日本NAS技研硅晶圓表面金屬污染回收裝置
日本NAS技研硅晶圓表面金屬污染回收裝置
| 裝置名 | SC-3100 | SC-8150 | SC-9100 | SC-9200 | |||||
| 操作 | パソコン(※3) | ||||||||
| 対応ウェーハサイズ | 150、200、300mm | ||||||||
| 保持具の裝著/脫著 | 自動 | 手動 | 自動 | 自動 | |||||
| サンプリング用薬液の供給 | 自動 | 手動 | 自動 | 自動 | |||||
| サンプリング用薬液の回収 | 自動(※1) | 手動 | 自動 | 自動 | |||||
| 基本回収パターン | リング狀、扇形、固定、半徑、円弧 | ||||||||
| 追加回収パターン(※1) | 側面、矩形、弓形 | ||||||||
| オリフラ処理(※2) | リング狀、固定半徑、側面の回収パターンに付加 | ||||||||