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日本NAS技研硅晶圓表面金屬污染回收裝置

日本NAS技研硅晶圓表面金屬污染回收裝置
一次性回收硅晶圓表面及側面附著的微量金屬污染物。
回收夾具具備自清洗功能,可將人為污染風險降至低,并保持分析精度一致。
同樣適用于化合物半導體晶圓。

  • 產品型號:SC-9100
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-11-11
  • 訪  問  量:26
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詳細介紹

日本NAS技研硅晶圓表面金屬污染回收裝置
日本NAS技研硅晶圓表面金屬污染回收裝置

  • 可一次性回收硅晶圓表面及側面附著的微量金屬污染物。
  • 回收夾具具備自清洗功能,可將人為污染風險降至低,并保持分析精度一致。
  • 同樣適用于化合物半導體晶圓。


SC-3100
  • 可連接電腦,創建多種回收模式,從硅晶圓表面及側面(倒角部)回收(取樣)微量金屬污染。
  • 幾乎不需外部資源,也不占空間,導入門檻低。
  • 全程機械操作,無需操作員熟練技巧,任何人都能輕松取樣。
  • 自動完成采樣藥液供給與夾具移動,相比 SC-2000 進一步降低操作者帶來的污染風險。
SC-8150
  • 即使晶圓處于親水狀態也能回收污染,適用于非硅材質晶圓或經整體蝕刻后表面粗糙的晶圓。
  • 放寬對晶圓狀態及采樣藥液種類的限制,也可回收重金屬以外的離子等。
  • 傳統疏水面采樣同樣支持。
SC-9100
  • 具備與 SC-8150 相同的親水晶圓污染回收功能,支持非硅材質及粗糙表面晶圓。
  • 同樣放寬藥液與晶圓狀態限制,可回收重金屬以外的離子。
  • 傳統疏水面采樣亦可用。
  • 自動供給采樣藥液并移動夾具,相比 SC-8150 進一步減少操作者污染。

裝置名SC-3100SC-8150SC-9100SC-9200
操作パソコン(※3)
対応ウェーハサイズ150、200、300mm
保持具の裝著/脫著自動手動自動自動
サンプリング用薬液の供給自動手動自動自動
サンプリング用薬液の回収自動(※1)手動自動自動
基本回収パターンリング狀、扇形、固定、半徑、円弧
追加回収パターン(※1)側面、矩形、弓形
オリフラ処理(※2)リング狀、固定半徑、側面の回収パターンに付加


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