日本HORIBA崛場半導體壓力測量隔膜式真空計
日本HORIBA崛場半導體壓力測量隔膜式真空計

過程中的壓力測量是半導體、平板顯示器、太陽能電池板、硬盤、涂層等眾多行業中的技術。電容式壓力計通過測量稱為隔膜的隔離膜兩側壓力差所產生的位移量，將其轉換為與對電極之間的靜電容量來換算壓力。與其他壓力測量方法相比，電容式壓力計具有以下特點。

• 絕對壓力測量

• 高精度·高穩定性

• 不依賴氣體種類的測量

• 自帶溫控型最小級別

• 獨特的電極結構實現高精度與高穩定性

• 采用SUS316L作為包含隔膜在內的接觸氣體部件材料

• 可選擇非加熱、55℃保溫、100℃保溫三種模式。

• 一鍵重啟Re Zero

• 供電電源支持±15VDC、24VDC

• 符合CE、RoHS標準

VG-200S

電容式壓力計 膜片式真空計

過程中的壓力測量是半導體、平板顯示器、太陽能電池板、硬盤、涂層等眾多行業中的技術。電容式壓力計通過測量稱為隔膜的隔離膜兩側壓力差所產生的位移量，將其轉換為與對電極之間的靜電容量來換算壓力。與其他壓力測量方法相比，電容式壓力計具有以下特點。

• 絕對壓力測量

• 高精度·高穩定性

• 不依賴氣體種類的測量
   

HORIBA的電容式真空計VG-200S是自溫度調節型中最小級別的隔膜式真空計。通過獨特的電極結構實現了高精度、高穩定性。