日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置 NAC-302 特點介紹

●硅片的處理過程是自動化的，從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。

●疏水性和親水性晶圓均可收集（斜面收集只能收集疏水性晶圓）。

●當需要同時對大量晶圓進行采樣和分析時，這是一種極其強大的設備。

●具有對回收的藥液進行計量和稀釋的功能，防止晶圓上殘留的藥液繼續作業。

●雙門結構，防止工作空間內的酸性氣氛和工人的污染。

●配備自動清潔取樣用支架的功能，減少操作員的工作量（*前支架和側支架兼容）。

我們還擁有全自動執行“批量蝕刻→晶圓污染恢復"的設備（NAC-304）。

此外，近年來，為了減少污染，對能夠執行“整體蝕刻→晶片污染回收→ICP-MS連接和自動元素分析"整個過程的設備的需求非常高（NAC-316）。

日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置 NAC-302 規格參數

設備名稱 NAC-302 NAC-304 NAC-316 

兼容晶圓尺寸 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 300毫米 

內置電腦 

外形尺寸（寬×深×高）（毫米）（*1）1850×1350×20002000×1500×20001700×2800×2300

使用設備酸排放、一般廢氣、酸廢氣

使用地點無塵室內部