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便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀XPS-7II是日本新宇宙（NEW COSMOS）電機株式會社開發的便攜式半導體材料氣體檢測儀，采用傳感器單元更換方式，能夠檢測多種半導體制造過程中使用的氣體。該設備在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現了世界小尺寸，特別適用于NF?（三氟化氮）等半導體材料氣體的泄漏檢測。
產品型號：XPS-7II廠商性質：經銷商更新時間：2025-11-18訪 問 量：27
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便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀
便攜式半導體三氟化氮氣體泄漏檢測儀
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 檢測對象 | 半導體材料氣體 |
| 檢測原理 | 定電位電解式 |
| 采樣方式 | 自動吸引式 |
| 檢測范圍 | 根據規格而定 |
| 報警設定值 | 根據規格而定 |
| 報警方式 | 蜂鳴器、紅色LED閃爍、LCD閃爍顯示 |
| 響應時間 | 60秒以內（60%響應） |
| 尺寸 | W62×H150×D128mm（不含突起部分） |
| 重量 | 約1.3kg |
| 工作溫度范圍 | 0℃～+40℃ |
| 連續使用時間 | 12小時以上（NF?傳感器單元使用8小時以上）※堿性干電池、20℃、無報警時 |
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