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日本micro-granite超薄晶圓厚度測量裝置MicroGravite BG measure是一種將晶圓固定在基座上，從單面（上表面）照射紅外線，通過測量表面反射光和背面內表面反射光的相位差來測定厚度的系統。由于可以將被測物體固定在基座上，即使是薄晶圓也可以進行測量。
產品型號：Real BG300廠商性質：經銷商更新時間：2025-11-01訪 問 量：73
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日本micro-granite超薄晶圓厚度測量裝置
日本micro-granite超薄晶圓厚度測量裝置
eal BG300型號是一種用于背磨后加工的多功能厚度測量設備。它使用硅傳輸位移傳感器在不接觸的情況下檢測硅晶圓的厚度。通過高精度的X軸（左右軸）、Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉軸）讀數，它測量X、Y和θ軸上的兩條中心線，以及測量芯片之間的劃線。它還能夠使用螺旋向量測量Y軸和θ軸上整個表面的厚度。由于采用了硅傳輸位移傳感器，Real BG300還能夠測量帶有固定背磨框架（保護膜/背磨帶）的晶圓。請注意：為了測量厚度，該設備需要具有大約#2000網紋或更大粗糙度的鏡面。eal BG300型號是一種用于背磨后加工的多功能厚度測量設備。它使用硅傳輸位移傳感器在不接觸的情況下檢測硅晶圓的厚度。通過高精度的X軸（左右軸）、Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉軸）讀數，它測量X、Y和θ軸上的兩條中心線，以及測量芯片之間的劃線。它還能夠使用螺旋向量測量Y軸和θ軸上整個表面的厚度。由于采用了硅傳輸位移傳感器，Real BG300還能夠測量帶有固定背磨框架（保護膜/背磨帶）的晶圓。請注意：為了測量厚度，該設備需要具有大約#2000網紋或更大粗糙度的鏡面。
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