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日本otsuka大塚DLC涂層厚度測量儀膜厚儀

日本otsuka大塚DLC涂層厚度測量儀膜厚儀顯微分光膜厚儀 OPTM series 是一種高精度的膜厚測量設備,適用于各種材料和應用場景。它的特點包括:
高精度測量:能夠精確測量膜厚,適用于需要高精度控制的工藝。
非破壞性測量:無需破壞樣品即可進行測量,適用于質量控制和研發。
多功能性:適用于多種材料和膜層,包括SiO2、SiN、ITO等。
易于操作:用戶界面友好,操作簡便。

  • 產品型號:OPTM-A3
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-10-13
  • 訪  問  量:51
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聯系電話:13823182047

詳細介紹

日本otsuka大塚DLC涂層厚度測量儀膜厚儀
日本otsuka大塚DLC涂層厚度測量儀膜厚儀

產品特點

顯微分光膜厚儀 OPTM series 是一種高精度的膜厚測量設備,適用于各種材料和應用場景。它的特點包括:
  • 高精度測量:能夠精確測量膜厚,適用于需要高精度控制的工藝。
  • 非破壞性測量:無需破壞樣品即可進行測量,適用于質量控制和研發。
  • 多功能性:適用于多種材料和膜層,包括SiO2、SiN、ITO等。
  • 易于操作:用戶界面友好,操作簡便。

技術規格

  • 測量原理:反射分光法(光干涉法)。
  • 膜厚測量范圍:根據具體型號可能有所不同,但通常覆蓋從納米到微米級別。
  • 重復精度:通常非常高,以確保測量的一致性和可靠性。
  • 測量時間:快速,通常在幾秒內完成。
  • 數據輸出:可以通過屏幕顯示或通過USB輸出到Excel等軟件進行進一步分析。

應用案例

  1. 半導體行業
    • SiO2和SiN膜厚測定:用于半導體工藝中絕緣膜的精確測量。
    • 粗糙基板上的膜厚測量:使用界面系數來補償基板表面的粗糙度對測量的影響。
  2. FPD(平板顯示器)行業
    • 彩色光阻膜厚測定:確保彩色濾光片薄膜的均勻性。
    • ITO構造解析:測量透明電極材料的膜厚及其傾斜變化。
  3. DLC涂層行業
    • DLC涂層厚度測量:適用于高硬度、低摩擦系數的類金剛石涂層。



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