日本musashino超高真空旋轉導入機分辨率高 ICF034/ICF070 特點介紹

采用鋁合金制成，體積小，重量輕。

鋁制法蘭型根據 ICF 標準進行鏡面拋光和離子鍍處理。

磁鐵沒有氣體排放。

規格與超高真空兼容。

高精度和高分辨率（極低的背隙）。

配有夾緊機構。

■ Made of aluminum alloy; compact, and light-weight design.

■ Ion plating applied for aluminum flange after mirror finishingbased on ICF standard.

■ No Outgassing from magnet.

■ Specifications suitable for Ultra-High Vacuum.

■ High precision and high resolution. （Very little backlash）

■ A clamp is included.

日本musashino超高真空旋轉導入機分辨率高 ICF034/ICF070 規格參數

額定尺寸真空連接法蘭真空連接法蘭最大傳遞轉矩Maxi母傳動扭矩真空密封方式真空密封類型最小讀取單位Minimu m分辨率070 034ICF07010Nm磁鐵耦合器磁鐵耦合1.3 10-11Pa·m3/sec或更少5.120°C或更小ICF0342Nm磁鐵聯接器磁鐵聯接頭1.3×10-11Pa·m3/sec或更少5.120攝氏度或更低（1x 10-10Torr·R/sec或更少）（1x 10-10Torr·R/sec或更少）

采用鋁合金制成，體積小，重量輕。

鋁制法蘭型根據 ICF 標準進行鏡面拋光和離子鍍處理。

磁鐵沒有氣體排放。

規格與超高真空兼容。

高精度和高分辨率（極低的背隙）。

配有夾緊機構。