美國TESCOM超高流量高純度氣體減壓調(diào)節(jié)器 15系列 特點(diǎn)介紹

TESCOM 15 系列專為超高流量應(yīng)用而設(shè)計(jì)，流量高達(dá) 28,300 SLPM。15 系列是超高純度、10 Ra 的散裝氣體減壓調(diào)節(jié)器。

進(jìn)口壓力為 300 psi/20.7 bar，出口壓力高達(dá) 150 psi/10.3 bar。可提供電子控制選項(xiàng)。

最大進(jìn)口壓力300磅/平方英寸/20.7巴出口壓力范圍130和150磅/平方英寸9.0和10.3巴設(shè)計(jì)證明壓力150%

最大額定值認(rèn)證最大內(nèi)置泄漏率膜片：1 x 10-9 atm cc/sec He Seat：1 x 1 0-6 atm cc/sec H e Operating Temperature-20°F to 150°F / -29°C to 65°C

流量能力膜片：Cv = 8.0波紋管：Cv = 14.0

美國TESCOM超高流量高純度氣體減壓調(diào)節(jié)器 15系列 規(guī)格參數(shù)

· 膜片感測(cè)元件可保持非常精確的下游壓力· 10 Ra微英寸內(nèi)表面光潔度，采用全內(nèi)電解拋光

· 316L不銹鋼棒料結(jié)構(gòu)

· 提供兩種加載選擇：彈簧/扳手調(diào)節(jié)和氣動(dòng)

· 提供兩種感測(cè)選擇：膜片和波紋管（波紋管感測(cè)元件的流量感測(cè)能力超過1200 SCFM/33,960 SLPM）

· 與ER3000電子控制器兼容