日本nasgiken搜集硅晶片金屬污染物回收裝置 SC-3100/SC-8100/SC-9100 特點介紹

SC-3100

●連接至PC以創建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。

●設備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。

●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。

●由于設備自動供給取樣化學品并移動支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染。

SC-8100

●具有即使在親水狀態的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導致表面變得粗糙的晶圓進行采樣。

●放寬了對晶圓條件和采樣化學品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。

●當然，傳統的疏水表面采樣也是可能的。

SC-9100

●具有即使是親水狀態的晶圓也能捕集污染物的功能，可對硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓進行取樣。

●放寬了對晶圓條件和采樣化學品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。

●當然，傳統的疏水表面采樣也是可能的。

●由于設備自動供給取樣化學品并移動支架，因此與SC-8100相比，可以減少工人造成的污染。

日本nasgiken搜集硅晶片金屬污染物回收裝置 SC-3100/SC-8100/SC-9100 規格參數

設備名稱 SC-3100 SC-8100 SC-9100

手術 電腦 (*3)

安裝/拆卸固定器 自動的 手動的 自動的

供應取樣用化學溶液 自動的 手動的 自動的

化學溶液取樣采集 自動 (*1) 手動的 自動的

基本采集模式 環形、扇形、固定、半徑、圓弧

追加收集圖案(*1) 橫向、矩形、弧形

定向平整處理（*2） 添加到環形、固定半徑、側面檢索模式