日本MARUWA石英玻璃高純度材料半導體領域用 特點介紹

MARUWA的石英玻璃制品是使用精選的高純度材料，其的加工技術與在管理的潔凈環境中的生產體制獨樹一幟。

從逐漸大型化的半導體制造工序用產品到光纖、太陽能電池這種新生代產品的制造工序用石英管、石英舟等，能根據客戶的要求提供各種產品。

以新生代的18英寸（450mm）為目標，導入大口徑機床和加工中心等設備，確立了12英寸（300mm）晶圓爐心管等大型產品的制造技術。

確立了借助于先進的NC加工機的精密研磨加工、細眼穿孔加工等精密細微加工技術。

另外，還可進行像氣體導入管中的細孔加工等借助于激光加工機的任意曲線切斷加工。

因火處理以后的所有工序都在潔凈環境下進行，最大限度地抑制了產品的污染。特別是出廠檢查、最終洗滌、真空包裝等工序是在等級1000以下的潔凈環境下操作的，可保證在無污染的狀態下交貨。

日本MARUWA石英玻璃高純度材料半導體領域用 規格參數

可對應包括半導體制造流程的擴散CVD、洗滌、蝕刻等的所有工序。

也可對應12英寸（300ｍｍ）以上大型產品的制造。

化合物半導體領域

MO-可對應包括MO-CVD的各種流程。

管式反應器

箱式反應器

大型托盤

光纖領域

可對應光纖基材處理、燃燒器、燃燒室等各流程的石英產品。

石英爐心管

石英多重管燃燒器

光纖基材細孔加工

各種石英室

太陽能領域

可對應硅片用石英產品。

石英管

石英舟