日本THKprecision高速響應X軸耐用電源器件 PSM1H系列 特點介紹

分為共振頻率高、強調高速響應的“直接驅動機構"和確保行程的“位移倍率機構"。

這是壓電元件直接使移動工作臺移動的機構。

通過抑制行程，分辨率和響應能力都非常出色。

高剛性即使在重負載下也能穩定定位。

配備機械放大壓電元件膨脹的機構。

根據放大倍數的不同，可以獲得直接驅動數倍至10倍以上的行程。

使用內置位移傳感器的反饋控制還可以保持位置重復性。

日本THKprecision高速響應X軸耐用電源器件 PSM1H系列 規格參數

半導體、FPD檢查設備

硬盤測試儀

激光光學系統對準

干擾設備

分析設備

納米定位

通過了解驅動源執行器和測量位移的傳感器的特性，并通過匹配將它們集成為單個系統的機構和控制電路，可以實現納米級的超精密定位。我們根據用途選擇并組合這些基本元件，并擁有多樣化的產品陣容來滿足您的定位和力感測需求。

應用納米技術的領域，如半導體、電子、生物技術、MEMS、微加工、材料和能源等，都在不斷發展，以滿足工業發展的需求。我公司支持納米技術相關科學技術和以超精密定位為核心的基礎技術的先進制造業的發展。

這是壓電元件直接使移動工作臺移動的機構。

通過抑制行程，分辨率和響應能力都非常出色。

高剛性即使在重負載下也能穩定定位。

配備機械放大壓電元件膨脹的機構。

根據放大倍數的不同，可以獲得直接驅動數倍至10倍以上的行程。

使用內置位移傳感器的反饋控制還可以保持位置重復性。