日本toko-valex超低溫用調節閥真空控制液氦 T-8810 特點介紹

是用于控制液氦等接近于絕對零度的超低溫流體的調節閥。 

其特征在于，采用將閥門焊接于真空容器上的結構。

該閥門內件采用了用于低溫運轉的帶咬合結構，能夠防止熱振動以及避免因熱變動而導致配管發生偏斜。

從手機到電腦、汽車，半導體是現代工業產品的主角之一。

在半導體行業中，是以單晶硅制造成套設備及日光發電晶圓制造成套設備、蝕刻及清洗用氣體制造成套設備、超純水設備為核心，運用我公司產品。

尤其是蝕刻及清潔用氣體，由于包含毒性流體，所以大量采用了帶有膜盒的控制閥。

日本toko-valex超低溫用調節閥真空控制液氦 T-8810 規格參數

型號T-8810 

型號超低溫用調節閥 

連接差込溶接?突合せ溶接 

公稱直徑（A）6～50 

額定Cv值0.01～48 

主體材料SUS316L 

閥蓋材料SUS316L 

延長管材料SUS316L 

內件材料SUS316L 

墊圈材料鋸齒形金屬墊圈 

流量特性等百分比（范圍度 50:1）、線性

快速打開（開閉） 

可配備的驅動部分隔膜電機：T-5系列、空氣式氣缸、電子式：MSP/PSN系列、電動式：CMS系列 

選配件氦氣泄漏試驗、真空套管、熱錨 

內件形狀：PCTFE盤

內件附加處理：鎢鉻鈷合金硬化處理