日本kitzsct低壓金屬隔膜閥分流器耐高溫 KD-K系列 特點介紹

這是一款全金屬隔膜閥，可承受高達250°C的環境溫度。所有部件，包括執行器以及與氣體接觸的部件，均設計為能夠在高溫環境下使用。

◎通過將車身縱孔尺寸最小化，將內容積縮小至1.4cm（1/4"CVC雄型Open時），實現優異的氣體置換特性。

◎通過氣體接觸部密封結構，追求的密封性能和高耐久化、脫氣性能、耐腐蝕性能。

◎通過嚴格挑選的隔膜材料的高耐腐蝕性能的成型方法加工，最大限度地消除了個體差異，實現了高耐久性能。

◎通過制造環境和內表面研磨處理，對應半導體用高純度氣體，將顆粒性能追求極限。

日本kitzsct低壓金屬隔膜閥分流器耐高溫 KD-K系列 規格參數

尺寸KD2（1/8"）KD4（1/4"）KD8（1/2"）KD12（3/4"）CV值0.05 0.27 0.7 1.7使用最高壓力0.98MPa（G）接氣部內容積※1 PCTFE、PI、PFA 0.23cm3 1.4cm3 7.4cm3 25cm3金屬1.3cm3 7.5cm3不支持使用流體溫度范圍PCTFE-10°C～80°CPFA手動閥-10°C～150°C自動閥-10°C～120°C（150°C實際使用50萬次）PI-10°C～150°C金屬（主體材質）※3-10°C～200°C不支持環境溫度范圍-10°C～60°C檢查泄漏量內部泄漏PCTFE、PI、PFA1×10-10Pa·m3/s以下金屬3 x 10-10Pa·m3/s以下未對應外部泄漏1×10-10Pa·m3/s以下操作壓力（自動閥）0.4～0.7MPa（G）