日本hrd-thermal熱物理顯微鏡熱射流率測量 TM3 特點介紹

用于測量薄膜和微區域的熱射流率

熱物性顯微鏡是測量熱射流率的裝置，熱射流率是熱物性值之一。

這是一種可以測量樣品的點、線、面熱物理性質的裝置。

還可以測量微米級的熱物理性質值的分布，這在傳統的熱物理性質測量設備中被認為是困難的。

這是一個能夠對熱物理特性進行非接觸式高分辨率測量的設備。

檢測光斑直徑為 3 μm，可實現微小區域的高分辨率熱物性測量（點、線、面測量）。

由于可以在不同深度進行測量，因此可以測量從薄膜、多層膜到散裝材料的所有物體。

也可以測量基材上的樣品。

使用激光的非接觸式測量。

可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落。

日本hrd-thermal熱物理顯微鏡熱射流率測量 TM3 規格參數

名稱/產品名稱熱物性顯微鏡/熱顯微鏡

測量模式熱物性分布測量（一維/二維/1點）

測量項目熱射流率，（熱擴散率），（導熱率）

檢測光斑直徑約3μm

1點測量標準時間10秒

待測薄膜厚度：數百nm至數十μm

重復性Pyrex 和硅的熱射流率小于±10%

樣本1.試料ホルダー30mm×30mm 厚さ5mm

2.板狀試料 30mm×30mm以內で厚さ3mm以內

試料表面の鏡面研磨が必要です。

試料表面にＭｏのスパッタリングが必要です。

使用溫度範囲24℃±1℃（裝置內蔵溫度センサーによる）