日本YUTAKA焊接壓力控制器調節器U25系列 U25SS/U25SH/U25SV 特點介紹

超高純度半導體制造工藝用精密壓力調節器

功能金屬墊片配件焊接規范調節閥結構針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標準流量～60NL/分鐘

日本YUTAKA焊接壓力控制器調節器U25系列 U25SS/U25SH/U25SV 規格參數

入口壓力 6MPa以下 

調節壓力 Max.0.99MPa（范圍規格：0～0.5MPa、0～0.99MPa） 

氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調節壓力變化量0.0016MPa 

承受壓力 一次側22.2MPa 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 約1.4公斤 

類型U25SSU25SHU25SVU25VHU25SH-CL2U25SS-N2OU25SS-NH3

氣體接觸部分 

主體SUS316L SUS316L

真空雙熔材料 SUS316L 

隔膜哈氏合金®C-22 

閥座PCTFE（Daiflon®） 氟樹脂

 聚酰亞胺

樹脂 氨

專用板材 

調節閥桿SUS316L 哈氏合金®

C-22 SUS316L 哈氏合金®

C-22 SUS316L 

壓力表連接密封墊片你 

非氣體接觸部分 

調節器蓋SUS304