日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 特點(diǎn)介紹

該裝置是防止單晶圓清洗設(shè)備的主排氣管道中的壓力波動(dòng)導(dǎo)致制造過(guò)程波動(dòng)的裝置。我們開發(fā)的氣動(dòng)橡膠膨脹閥可實(shí)現(xiàn)高速壓力控制，尺寸小，壓力損失極低。

通過(guò)適當(dāng)控制排氣壓力，還可以適當(dāng)管理排氣流量，從而可以通過(guò)管理排氣管道的總流量和壓力來(lái)顯著降低能源成本。

主要用途

? 單晶圓清洗設(shè)備的腔室壓力控制

? 潔凈通風(fēng)室和潔凈卡車的室壓控制

? 受排氣管壓力波動(dòng)影響的設(shè)備和工藝

? 液晶顯示風(fēng)刀罐排氣壓力控制

? 潔凈室排氣壓力控制

日本kk-ace氣壓計(jì)控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 規(guī)格參數(shù)

壓力損失 15 Nm3/min 時(shí) 50Pa（空氣） 10 Nm3/min 時(shí)20Pa以下（空氣） 10 Nm3/min 時(shí)20Pa以下（空氣） 

控制閥連接 200A 管道輸出 150A 管道輸出 100A配管 

調(diào)節(jié)壓力范圍（一次側(cè)壓力） -50至-999Pa（取決于與大氣壓力和二次壓力的壓差） 

二次壓力（閥門下游壓力） (控制壓力-50)Pa以下 

如果壓差小于該值，則初次調(diào)節(jié)范圍會(huì)變窄。 

壓力精度 ±2%滿量程  

控制紋波（穩(wěn)定控制時(shí)的變化） ±1%滿量程（二次側(cè)壓力波動(dòng)±10Pa以內(nèi)） 

耐壓（一次側(cè)壓力） 50kPa以內(nèi)（與大氣壓的壓差） 

反應(yīng)能力 2 秒內(nèi)完成 98% 的設(shè)置（典型） 

流體溫度 10～50℃ 

主機(jī)環(huán)境溫度（精度保證溫度） 15-35℃ 

電源電壓 24V直流±10% 

外部輸出 壓力信號(hào)：1至5V DC 

報(bào)警：NPN晶體管集電極開路 DC 30V<100mA